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HPFS®8655熔融石英是一种极纯合成玻璃,在深紫外线(DUV)的激光照射下,由于它非常低的水含量使其具有非常稳定和可预测的... [查看详情]
HPFS®8655熔融石英是一种极纯合成玻璃,在深紫外线(DUV)的激光照射下,由于它非常低的水含量使其具有非常稳定和可预测的动态特性。由于它没有经过压实,没有膨胀,并且有较强的抗压力以及在著名的标准击实曲线下使其达到尽可能低的诱导波前畸变
8655玻璃由于其最小的诱导吸收和低双折射,通常用于制造光学透镜以及最先进的
显微光刻技术上,除了其DUV激光照射下的性能,HPFS®8655熔融石英还能满足显微光刻技术最低的静态双折射,吸收和统一均匀性折射率指标。
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